半导体芯片电路微小，生产过程中对洁净度要求极高。无尘用品在擦拭晶圆、光刻组件等精密部件时，如果非挥发性残留物（NVR）过高，会在半导体表面形成薄膜，干扰后续工艺如涂覆、粘接，甚至可能导致元件损坏。
什么是非挥发性残留物（NVR）分析
NVR分析是评估物品或组件表面微污染量的重要手段，通常在清洗程序的最后步骤进行。通过测量溶剂挥发后残留的可溶、悬浮或颗粒物质，NVR分析不仅能确定材料清洁度，还可用于检测溶剂纯度。
测试溶剂选择
- 二氯甲烷：适用于金属部件，可去除烃类油、硅油等污染物
- 正己烷：适用于塑料部件及带有有机涂层或粘合剂的部件
- 异丙醇（IPA）：常用于擦拭布和其他材料的测试
- 去离子水：用于检测水溶性污染物
检测流程与样品处理
- 在洁净环境下使用高精度微量天平（可读性≥1μg）称量，避免二次污染。
- 根据样品性质选择溶剂，确保溶剂能有效溶解残留物且挥发后无残留。
- 将样品与溶剂混合后，使用旋转闪蒸蒸发器快速蒸发溶剂，然后在恒温恒湿条件下称量残留物重量。
NVR计算公式
a = 样品称量盘加残留物的质量 (g)
b = 洁净样品称量盘质量 (g)
c = 空称量盘加残留物质量 (g)
d = 洁净空称量盘质量 (g)
e = 部件表面积 (cm²)
f = 部件数量
判定等级
依据 IEST-STD-CC1246E 产品洁净度和污染控制程序进行等级判定，确保材料符合半导体工艺要求。
NVR鉴定方法
使用 FTIR 或其他分析技术检测样品提取物，确认是否存在特定污染物，如硅油、酰胺滑剂或邻苯二甲酸盐，提供精确污染源识别。
相关标准
- SEMI E78-1103：洁净室无尘布 NVR 测试方法
- ASTM E1234-12：航天器环境控制区域 NVR 样品板处理与运输标准
- ASTM E1235-12：航天器环境控制区域 NVR 重量测定标准
- ASTM E1560-25：清洁室擦具 NVR 重力测定方法
- ASTM E1731-25：清洁室手套 NVR 重量法测定
- IEST-STD-CC1246E：产品洁净度及污染控制程序
送检须知
- 原装样品：提交未开封运输容器内的原始部件，减少处理污染。
- 清洁后的样品：经过精密清洗的部件请使用无油铝箔或100级洁净室批准尼龙内袋包裹，外层聚烯烃袋包装。
- 避免污染：采集和保存过程中应尽量避免外界污染，确保样品代表性。
我们的优势
上海德垲检测专注半导体材料清洁度分析，提供316L不锈钢、无尘布、无尘手套等NVR检测服务。凭借丰富行业经验和严格实验室管理体系，我们能为客户提供符合SEMI及ASTM标准的整体测试方案，帮助提升材料表面洁净度及生产可靠性。
应用场景
- 晶圆制造及光刻工艺质量控制
- 半导体精密组件清洁度评估
- 高精度电子器件材料表面污染分析
- 研发与生产环节材料洁净度验证
结语
上海德垲检测致力于提供一站式半导体材料NVR检测与清洁度分析服务，为企业提升产品工艺水平、降低缺陷率提供专业支持。欢迎各企业机构送检。
